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晶圆XRT成像技术

产品简介

晶圆XRT成像技术，芯基石依托中科院博士后团队的深厚技术积累，历时多年攻坚，成功研发出专为生产监控设计的晶圆 X 射线衍射成像仪（XRT）。该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

产品型号：CS-XRT700i

更新时间：2026-04-14

厂商性质：生产厂家

访问量：26

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晶圆XRT成像技术该设备利用高精度X射线技术，无损透视材料内部晶格结构，可离线/全自动测量单晶硅/碳化硅/氮化镓等多种材质裸晶圆内部缺陷，可以检查内部微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等缺陷，并自带算法，可以提供非标定制服务。

智能X射线衍射成像检测和分析系统

检测缺陷:裂缝和微裂纹/位错/夹杂物/微管/沉淀物/滑移/堆垛层错/表面划痕/亚晶粒等。

衍射成像后，AI图像分析软件可自动化处理数据并生成结果报告。这款专业的缺陷检测分类软件可基于30多个可调参数(包括形状、大小、位置、强度和取向等)中的一个或多个维度对缺陷进行分类。

晶圆XRT成像技术自动分类与计数

自动化结果报告:结果报告亦可按需定制开发，本设备提供多种输出格式，包括KLARF报告、晶圆缺陷分布图像、详细的缺陷分类/汇总列表，以及简洁的合格/不合格判定报告。

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